Kuivan ruuvin tyhjiöpumpun toimintaperiaatteena on kaasun toimittamisen ja puristuksen toteuttaminen muuttamalla ajoittain hampaiden välistä tilavuutta epäsymmetristen ruuviroottorien vastakkaisella liikkeellä. Erityinen prosessi on jaettu kolmeen vaiheeseen: imu, puristus ja pakokaasu:
Saantoprosessi: Kun roottori alkaa pyöriä, hammastilavuuden välinen tilavuus kasvaa vähitellen, muodostaen tyhjiön ja kaasu imetään paine-eron vaikutuksen alla. Kun roottori pyörii edelleen, hampaiden välinen tilavuus kasvaa edelleen ja pysyy kytkettynä imuaukkoon, kunnes imuprosessi päättyy.
Kompressioprosessi: Roottorin kiertäessä edelleen, sup-välinen tilavuus alkaa pienentyä, ja myös sen suljetun kaasun tilavuus pienenee, mikä johtaa paineen lisääntymiseen, mikä toteuttaa kaasun puristusprosessin.
Pakokaasuprosessi: Kun hampaiden välinen tilavuus on kytketty pakokaasun aukkoon, kaasu, jolla on pakokaasupaine, purkautuu vähitellen pakokaasun aukon läpi, kunnes hammasten välisen tilavuuden kaasu purkautuu kokonaan.
